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茂名產品名稱:PECVD石墨舟

  • 所屬分類:茂名光伏及半導體用途

  • 點擊次數:4101
  • 發布日期:2023/05/31
  • 規格:
  • 類型:
  • 在線詢價
  • 詳細介紹

應用場景:單晶硅片沉積鍍膜

優點

1.采用當下最有優勢的高精密加工設備,配備專業工藝人員,保障使用中硅片表面不產生“彩片”。

2.采用提純等靜壓石墨材料制作,雜質含量低,強度高。

3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷,防腐蝕性能強,不易爆裂。

4.執行嚴格的全工序品質控制,保證每個配件的精度。

5.能完全匹配主流設備廠商的沉積爐型。


國產提純石墨參數
密度1.82g/cm3灰分50ppm
抗折強度51Mpa抗壓強度115Mpa
顆粒度0.01mm電阻率12μΩ.m
肖氏硬度65HSD熱膨脹系數(室溫-600℃)5.8x10-6/℃
彈性模量12Gpa氣孔率12%
進口提純石墨參數

密度1.82g/cm3灰分50ppm
抗折強度58Mpa電阻率14μΩ.m
顆粒度0.01mm氣孔率8%
肖氏硬度65HSD


本文網址:http://www.sunshine-cable.com/product/724.html

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