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大同產(chǎn)品名稱:PECVD石墨舟

  • 所屬分類:大同光伏及半導(dǎo)體用途

  • 點擊次數(shù):4100
  • 發(fā)布日期:2023/05/31
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  • 詳細(xì)介紹

應(yīng)用場景:單晶硅片沉積鍍膜

優(yōu)點

1.采用當(dāng)下最有優(yōu)勢的高精密加工設(shè)備,配備專業(yè)工藝人員,保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”。

2.采用提純等靜壓石墨材料制作,雜質(zhì)含量低,強度高。

3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷,防腐蝕性能強,不易爆裂。

4.執(zhí)行嚴(yán)格的全工序品質(zhì)控制,保證每個配件的精度。

5.能完全匹配主流設(shè)備廠商的沉積爐型。


國產(chǎn)提純石墨參數(shù)
密度1.82g/cm3灰分50ppm
抗折強度51Mpa抗壓強度115Mpa
顆粒度0.01mm電阻率12μΩ.m
肖氏硬度65HSD熱膨脹系數(shù)(室溫-600℃)5.8x10-6/℃
彈性模量12Gpa氣孔率12%
進(jìn)口提純石墨參數(shù)

密度1.82g/cm3灰分50ppm
抗折強度58Mpa電阻率14μΩ.m
顆粒度0.01mm氣孔率8%
肖氏硬度65HSD


本文網(wǎng)址:http://www.sunshine-cable.com/product/724.html

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