產品名稱：PECVD石墨舟
- 詳細介紹
應用場景：單晶硅片沉積鍍膜
優點
1.采用當下最有優勢的高精密加工設備，配備專業工藝人員，保障使用中硅片表面不產生“彩片”。
2.采用提純等靜壓石墨材料制作，雜質含量低，強度高。
3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷，防腐蝕性能強，不易爆裂。
4.執行嚴格的全工序品質控制，保證每個配件的精度。
5.能完全匹配主流設備廠商的沉積爐型。
| 國產提純石墨參數 | |||
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強度 | 51Mpa | 抗壓強度 | 115Mpa |
| 顆粒度 | 0.01mm | 電阻率 | 12μΩ.m |
| 肖氏硬度 | 65HSD | 熱膨脹系數（室溫-600℃） | 5.8x10-6/℃ |
| 彈性模量 | 12Gpa | 氣孔率 | 12% |
| 進口提純石墨參數 | |||
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強度 | 58Mpa | 電阻率 | 14μΩ.m |
| 顆粒度 | 0.01mm | 氣孔率 | 8% |
| 肖氏硬度 | 65HSD | ||
